运动传感器的原理及作用
时间：2024-11-09 02:00:35
MEMS运动传感器原理
运动传感器原理
1.MEMS加速度计原理。MEMS加速度计分为三种：压电式、容感式、热感式。压电式MEMS加速度计运用的是压电效应，在其内部有一个刚体支撑的质量块，有运动的情况下质量块会产生压力，刚体产生应变，把加速度转变成电信号输出。容感式MEMS加速度计内部也存在一个质量块，从单个单元来看，它是标准的平板 电容器 。加速度的变化带动活动质量块的移动从而改变平板 电容 两极的间距和正对面积，通过测量电容变化量来计算加速度。热感式MEMS加速度计内部没有任何质量块，它的中央有一个加热体，周边是 温度传感器 ，里面是密闭的气腔，工作时在加热体的作用下，气体在内部形成一个热气团，热气团的比重和周围的冷气是有差异的，通过惯性热气团的移动形成的热场变化让 感应器 感应到加速度值。
2.MEMS陀螺仪原理。MEMS陀螺仪利用科里奥利力——旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。
3.MEMS磁力计工作原理。MEMS磁力计就是通过测量磁场强度和方向来定位设备的方位的传感器。
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